近日，备受瞩目的2025慕尼黑上海光博会在上海新国际博览中心圆满落幕。作为亚洲激光、光学、光电行业一年一度的行业盛会，国内外超1300家参展企业及合作单位共襄盛举，共同探讨前沿光电技术发展方向。

地心科技携高精度运动系统亮相展会，为各行各业的客户提供高精度的运动控制系统定制化解决方案，成为全场焦点。

地心科技独具特色的高速气浮转台、超薄一体式XY运动平台、气浮轴承直线台、机械直驱转台、升降台等多款自研核心技术产品接连亮相，其卓越的产品性能与全面的应用方案赢得了参展客户的广泛赞誉。

1.ASP系列气浮转台

本次展会展出的ASP系列气浮转台分为100mm和150mm两种台面尺寸，适用于不同应用场景。

产品专业针对半导体前道晶圆检测系统设计，具有极高的转速，可适配150mm/200mm/300mm全尺寸晶圆处理需求。产品支持5nm工艺节点检测，通过高转速动态响应能力（最高可达5000rpm）与纳米级旋转精度，显著提升晶圆表面缺陷检测效率及量测精度。

2.CUBE-4系列四轴一体平台

CUBE-4作为XYZT 4轴一体式精密定位平台，具备非常优秀的性能和定位精度。产品兼具点到点的静态精度与卓越的动态精度，可完美实现基因测序应用中的快速自动追焦和等间隔触发，确保动态成像清晰度与信号采集时序性双重提升，从而提高基因测序的准确性与测序效率。

该产品已成功搭载于多款主流基因测序设备，成为高精度自动化基因测序解决方案的核心组件。

3. LAB165系列气浮轴承直线台

作为纳米级定位精度的气浮平台，LAB165系列气浮轴承直线台采用直线电机驱动，利用空气弹性势能作为支撑导轨，具备卓越的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达120Hz以上。

产品适用于大型光学透镜检测、半导体晶圆缺陷检测、精密制造和封装等对洁净程度要求较高或者对直线度和平面度要求比较高的行业应用，在高附加值产业中显著提升良率与生产效率。

4.ONEXY直线电机机械台

ONEXY系列是纳米级定位精度的XY一体式精密运动平台，负载能力可以达到45kg，全行程平面度和直线度小于±2μm，是一款兼顾重负载和高精度的XY平台，可以与Surface-Z聚焦升降台、Surface-Theta微调转台组成多轴配置来满足客户应用。

产品兼顾了大行程、高精度、重负载、低侧向高度等优点，在测量、晶圆检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目中发挥着重要作用。

5.SMH165V-070直驱升降台

SMH165V-070直驱升降台是纳米级定位精度托举运动Z向平台，具有尺寸紧凑、侧向高度低、定位精度和重复性优良、最小步进精度量小、承载能力强和步进稳定时间短等优点。

升降台机械设计巧妙，在保证精度和承载能力的同时，可以有效节省安装空间，适用于半导体晶圆缺陷检测、光学透镜检测、生物医疗和精密加工等空间受限的场景。

2025慕尼黑上海光博会虽已落幕，但地心科技前进的脚步不会停止。我们将在大家的支持与期盼中继续精进运动控制技术，用行业领先的高精度加工和检测设备与具有前瞻性的解决方案满足多行业需求，期待我们的下次见面！