9月10日,第26届CIOE中国光博会于深圳国际会展中心盛大开幕。超3800家优质企业欢聚一堂,为光电行业带来了最前沿的技术趋势和无限商机。地心科技坐镇6D110展位,正在为各行各业的精密运动控制带来澎湃助力。
此次参展CIOE,不仅是地心科技展示核心实力的重要窗口,更是我们深化行业合作、拓展市场边界的重要契机。地心科技携多款精密运动控制平台以及经过行业验证的精密运动控制解决方案亮相展会,吸引了众多行业专家与客户驻足交流,充分展现其产品与解决方案的市场吸引力,在展会中大放异彩。
针对晶圆螺旋缺陷检测、光纤耦合、光芯片制造、激光微纳加工等前沿应用场景,地心科技凭借具备微米、纳米级定位精度的核心子部件与子系统提供精准支撑,助力各行业运动控制更加灵活高效,驱动产业迈向高质量发展新阶段。
ZTT-V2定制运动系统
ZTT系列偏摆台焕新升级,成为本次地心展台的焦点之一。作为垂直升降与水平调平三轴一体式精密定位平台,ZTT-V2具备非常优秀的微动精度和动态性能,负载能力可达10kg,兼容洁净室环境使用。
ZTT-V2在兼具点到点静态定位精度的同时,还具备非常突出的动态精度,适用于对微动和动态跟随误差要求严苛的晶圆检测、光学对准、面板检测或者无掩膜光刻等应用,可以根据传感器聚焦高度实时调整高度和角度姿态,全方位解决客户的运动控制难题。
MicroL-Z系列定制运动系统
MicroL-Z系列三轴平台采用大中空设计,可以根据客户要求分离成大中空的XY轴和单独的Z轴。Z轴具有良好的动态聚焦能力,可以在150ms内完成1μm步进,整定到±150nm。
产品适用于生物组织结构观测和膜厚测量等应用,XY轴完成“弓”字型折返扫描的同时,Z轴还可以根据应用需求完成调焦运动,保证精准的捕捉扫描图像。在某些相机景深较短的应用中,也可以快速协同步进稳定和快速聚焦,大大提高效率和成像质量。
FLAT-XY直线电机机械台
FLAT-XY系列平台采用XY一体式设计,在结构紧凑的同时具备较强的驱动能力,双轴高度仅有45mm,最大速度可达500mm/s,空载加速度可达1g。
产品主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等,可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
ASP系列气浮转台
ASP系列高精度气浮直驱转台,采用旋转电机直接驱动,具备非常优秀的动态性能和定位精度,最大转速可达5000rpm。除了行业领先的轴向、径向和倾斜误差运动性能外,ASP气浮转台还具备卓越的旋转绝对定位精度、重复性和负载能力,很容易集成到多轴运动系统中,实现直线轴及转台协同作业。
转台在高转速运动下的动平衡指标可达G0.4级,不仅提高设备的运行效率及使用寿命,还极大地降低了对直线轴的扰动,使得更高分辨率,更小像元尺寸传感器的使用成为可能。
LAB165S气浮直驱直线台
LAB165S是纳米级定位精度的气浮平台,采用地心科技自研直线电机驱动,适用于半导体等对洁净程度要求较高或者对直线度和平面度要求比较高的应用。
LAB165S有较强的驱动能力,最大空载速度1000mm/s,空载加速度可达0.5g,主要应用于光学透镜检测,半导体领域的晶圆缺陷检测,精密制造和封装,可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
地心科技无铁芯直线电机
地心科技直线电机采用轻量化设计,运行时无机械接触和齿槽效应,可以有效减少磨损和振动。运行更平稳,定位更精准。
产品后续维护成本极低,更具备长期收益,适用于半导体与精密加工、工业自动化、医疗设备以及视觉系统等对精度要求极其严苛的领域。
展会仍在火热进行中,欢迎大家前往6D110地心展台探索您的定制化精密运动控制解决方案!
展望未来,随着光电子产业与新兴技术的深度融合,地心科技将继续加大研发投入,聚焦半导体量检测、光通信、智能装备等关键领域,以气浮转台、直线台、升降台及多轴运动系统等核心产品为依托,不断提升技术创新能力,为全球光电子产业的高质量发展注入新的动能。