PM系列亚微米级定位精度的XY一体式精密定位平台，直线电机直驱控制，采用两轴一体式结构，具备非常优秀的性能和重复定位精度，双向重复精度小于±0.3μm. PM系列平台采用杰出的工业化设计，动态性能和几何均非常出色，空载截止频率最大可达120Hz以上，全行程平面度和直线度小于±2μm，是一款兼顾重负载和高精度的XY平台。

PM系列平台结构精致，有较强的驱动能力，上下轴均采用大推力双电机驱动，上下轴空载最大速度均可达到2000mm/s，空载加速度可达2g，在高速运动过程中仍然可以保证很小的动态跟随误差。例如，PM系列平台加工加工图形如下，要求在1.2秒内完成整段轨迹，利用scope采集动态跟随误差小于12μm。PM系列平台集高精度，重负载，低侧向高度等优点于一身，主要应用在高速激光加工、测量检测、表面粗糙度检测等需要亚微米级定位精度的工业领域和科研项目。

PM系列平台最小步进和动态性能测试

最小步进20 nm（实验室环境，配置线性放大器）

此图型为150mmX75mm毫米的操场型图形，其中4个拐角半径大约4.5mm

1.2秒完成加工，动态跟随误差小于12μm