CFTCA系列是纳米级定位精度的XY一体式精密定位平台，直线电机驱动，采用精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截至频率可达100Hz以上。CFTCA系列采用杰出的工业化设计，外观设计及几何尺寸非常合理，CFTCA-150XY全行程平面度和直线度小于±2μm，安全中空尺寸可达40mm*40mm；CFTCA-250XY全行程平面度和直线度小于±4μm，安全中空尺寸可达50mm*50mm是光学测量检测领域的关键部件。

CFTCA系列平台结构精致紧凑，但是有较强的驱动能力，上轴最大速度1000mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，CFTCA系列中空平台的在位稳定性3nm，最小步进量可以小于5nm，由于其中空特性，它主要应用在双面测量检测、生物样片加工和观测、薄膜和油墨厚度测量等需要纳米级定位精度和中空设计的工业领域与科研项目。

CFTCA系列平台在位稳定性和最小步进测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）