ONEXY系列是纳米级定位精度的XY一体式精密运动平台，直线电机驱动，采用开放式结构，具备非常优秀的性能和定位精度，空载截止频率可达120Hz以上。ONEXY系列采用杰出的工业化设计，外观设计及几何尺寸非常合理，例如，ONEXY-250-250负载能力可以达到45kg，全行程平面度和直线度小于±2μm，是一款兼顾重负载和高精度的XY平台，可以与Surface-Z聚焦升降台、Surface-Theta微调转台组成多轴配置来满足客户应用。

ONEXY系列平台结构紧凑，有较强的驱动能力，下轴采用双电机驱动，上下轴空载最大速度均可达到2000mm/s，空载加速度可达2g。ONEXY系列平台具备丰富的行程选项，有250mm*250mm，350mm*350mm和500mm*500mm三种选择，电子分辨率1nm，最小步进小于20nm，它兼顾了大行程，高精度，重负载，低侧向高度等所有优点，主要应用在测量、晶圆检测，表面粗糙度检测，激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目。

ONEXY系列平台在位稳定性、最小步进测试：

±10nm在位稳定性（P-P值，采样频率2K，采样时长5s，配置线性放大器）

20nm连续5步（配置线性放大器）