CFT-XY是纳米级定位精度的XY一体式精密定位平台，直线电机直驱控制，采用精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达100Hz以上。CFT-XY系列平台有杰出的工业化设计，外观设计及几何尺寸非常合理，同时全行程平面度和直线度小于±1.5μm。其中CFT-200XY系列平台动态性能极佳，以40mm/s的速度做直径2.2mm的圆形轨迹运动，动态跟随误差小于0.5μm， 是精密激光加工和飞拍扫描检测的首选平台。

CFT-X系列平台结构精致，有较强的驱动能力，上轴最大速度800mm/s，空载加速度可达1g。采用线性放大器和ASH反馈，实验室环境做好振动隔离的前提下，CFT-XY系列平台的在位稳定性小于3nm，最小步进量小于5nm，可用于测量检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业和科研项目。

CFT-XY在位稳定和最小步进测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）