ART95LZ系列是纳米级定位精度的垂直运动平台，无齿槽直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。是ART95系列水平运动平台的有效补充，可以与ART95或者ART95XY系列组成不同的多轴配置来满足客户应用。

ART95LZ系列平台虽然结构紧凑但是有较强的驱动能力，最大速度可达200mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART95LZ系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm，平面度/直线度可达±2μm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及光学领域光路对准等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

ART95LZ系列平台最小步进和在位稳定性测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）