ART130SZ系列是纳米级定位精度的垂直运动平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。

ART130SZ系列平台采用超薄设计，能有效节省安装空间，是ART130系列水平运动纳米运动台的有效补充，双气缸平衡设计，通过气缸平衡负载重量，能有效避免电机长时间工作发热现象，是高刚性和高可靠性的Z向纳米运动平台的首选。

ART130SZ系列平台虽然结构紧凑但是有较强的驱动能力，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART130SZ系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

ART130SZ系列平台最小步进和在位稳定性测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）