ART95XYZ系列是纳米级定位精度的XYZ一体式运动平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。采用XYZ一体设计，具有精度高、尺寸小、集成度高的特点，XYZ行程可以根据客户需求定制，它可以作为三维运动平台单独使用，还可以与RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。

ART95XYZ系列平台虽然结构紧凑但是有较强的驱动能力，最大速度可达200mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART95XYZ系列平台的在位稳定性可达3nm和最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合，半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及光学领域光路对准等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

精巧的结构设计保证了ART95XYZ系列出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，它的优异性能得到了很好的体现。

ART95XYZ系列平台最小步进和在位稳定性测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

<3nm在位稳定性（ASH反馈选项，配置线性放大器）