ART165V-5是纳米级定位精度托举运动升降平台，直线电机驱动，交叉滚珠导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达150Hz以上。

ART165V-5系列升降台是ART系列水平运动平台的有效补充，相比ART130V-5台面宽度有所增加，承载能力更大，可以与SMH165LM/SMH165SD直线平台组成不同的多轴配置来满足客户应用。在一些需要快速聚焦的应用中，ART165V-5 的出色动态性能使其足以满足严苛的技术要求，例如，在基因测序应用中ART165V-5安装1.7kg负载步进1μm，步进整定到±50nm误差范围，能在15ms时间内完成包括加减速和整定在内的所有动作，能快速准确的完成实时聚焦动作。

ART165V-5系列升降台结构紧凑小巧，但是有较强的驱动能力，最大速度可达75mm/s，空载加速度可达0.7g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART165V-5系列升降台的在位稳定性和最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等，可以根据客户的应用场景提供灵活的定制方案。

ART165V-5系列升降台最小步进测试

5nm 步进（配置线性放大器）

0.1mm 步进，50ms整定到±50nm