SurfaceZ是纳米级定位精度的垂直运动Z向平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达200Hz以上。

SurfaceZ升降台是Surface系列运动平台的有效补充，可以与Surface-Theta或者Surface-350-350平面气浮组成多轴系统来满足客户应用。在一些高端半导体应用案例中，对整体运动系统有苛刻的精度和几何性能要求，Surface系列可以为这类应用提供整体解决方案。SurfaceZ平台侧向高度低，阿贝误差小且节省空间，内置气动平衡装置最大承载15kg负载，可以同时满足重负载，高精度和低侧面的要求。

SurfaceZ平台结构紧凑小巧，但是有较高的定位精度，配置线性放大器，带隔振实验室环境下，SurfaceZ平台的在位稳定性和最小步进量可以小于5nm，主要应用于半导体领域的光刻、检测和封装、外形轮廓测量、生物医疗领域的基因测序等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

SurfaceZ系列升降台最小步进测试

5nm 步进（配置线性放大器）

0.1mm 步进，50ms整定到±50nm