VC60-5是纳米级定位精度的托举运动升降平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达120Hz以上。

VC60-5系列升降台是ART130系列水平运动平台的有效补充，可以与ART130或者ART130XY组成不同的多轴配置来满足客户应用，在一些需要快速聚焦的应用中，VC60-5 的出色动态性能使其足以满足严苛的技术要求，例如，在基因测序应用中VC60-5安装350g负载以10Hz的正弦频率做20μm振幅往复运动，运动过程中动态跟随误差小于1μm，VC60-5实测数据是0.78μm，能快速准确的完成实时聚焦动作。

VC60-5系列升降台结构紧凑小巧，但是有较强的驱动能力，最大速度80mm/s，空载加速度可达0.5g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，VC60-5平台的在位稳定性和最小步进量可以小于10nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

VC60-5系列升降台最小步进测试

10nm 步进（配置线性放大器）