CRS115SD系列是高精密机械运动平台，采用交流无刷伺服电机加滚珠丝杠驱动，配置交叉滚柱导轨，兼具普通伺服电机驱动平台的优点，同时又有比普通丝杠传动平台更小的最小步进精度，CRS115SD系列最小步进量可以到达50nm，如果采用线性放大器，最小步进精度可以提升到25nm，重复定位精度小于±0.2μm。CRS115SD系列不仅有接近直驱电机一样的精度性能，还能更加灵活的使用，它既可以作水平直线轴使用，也可以选择抱闸选项，这样就作为Z轴立起来与其它水平安装的直线平台配合使用。CRS115SD系列有旋转编码器和直线光栅尺多种反馈配置供客户选择，选配旋转编码器分辨率小于0.2μm，光栅尺选项分辨率小于1nm。

CRS115SD系列平台是高精密丝杠传动平台，它的主要特点是具有比普通丝杠传动平台有更好的重复定位精度和更小的步进量。主要应用于OLED切割、PCB钻孔等激光加工领域的激光器或振镜调焦，表面形貌测量的纵向扫描，数控加工、生物技术、IC封装设备等领域。CRS115SD系列平台为客户提供一个能够实现亚微米级定位运动平台。

CRS115SD系列平台最小步进测试

50nm最小步进