SMH165SD系列是可灵活配置的机械直线运动平台，采用交流无刷伺服电机加滚珠丝杠驱动，最大速度可达300mm/s。SMH165SD系列平台可以作水平直线轴使用，也可以选择带断电自锁功能的抱闸配置，作为Z轴平台与LM系列直线电机平台配合使用。SMH165SD系列平台有旋转编码器和直线光栅尺多种反馈配置供客户选择，选配旋转编码器分辨率小于0.5μm，光栅尺选项分辨率小于0.1μm。

SMH165SD系列高性能机械式直线导轨运动平台是精密机械中的关键部件之一，其主要特点是结构坚固，具备较强承载能力，一般选配抱闸选项作Z向调焦台使用，主要应用于OLED切割、PCB钻孔等激光加工领域的激光器或振镜调焦、表面形貌测量的纵向扫描、以及数控加工、生物技术、IC封装设备等领域。

SMH165SD系列平台最小步进和在位稳定性测试

±30nm 在位稳定性

100nm 最小步进

SMH165SD系列平台动态性能测试

10kg负载，200mm/s往返运动测试