UCS100SD系列

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UCS100SD系列是高精密定位平台,采用交流无刷伺服电机加滚珠丝杠驱动,侧向高度低,结构紧凑。UCS100SD系列平台不仅有接近直驱电机一样的精度性能,还能更加灵活的使用,它既可以作水平直线轴使用,也可以选配抱闸,作为Z轴立起来与其它水平安装的直线平台配合使用,水平最大负载25Kg,侧向安装或者垂直安装最大负载10kg。UCS100SD系列有旋转编码器反馈配置,选配旋转编码器分辨率小于0.1μm。


UCS100SD系列平台是高精密丝杠传动平台,其主要特点是侧向高度低,结构紧凑,而且坚固耐用,平台带载里程超过2500km。UCS100SD提供高分辨率和重复定位精度,主要应用于半导体晶圆测试和制造、自动显微镜观测系统和高精度微机等应用。


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