LPAR系列

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LPAR系列是大中空尺寸、高精度360度连续转台,采用旋转电机直驱控制,具备非常优秀的动态性能和定位精度,相比常规蜗轮蜗杆转台,它速度快,无齿轮间隙,有更好的定位精度和重复定位精度。LPAR系列转台采用杰出的工业化设计,选用薄壁轴承,有利于减小转动摩擦和节省空间。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度±3角秒,重复性小于±1.5角秒,最大水平负载可达70kg,机械性能非常突出。


LPAR系列采用大直径圆形轴承设计,系统刚性强,重复性好,重负载使用条件小也不会损失性能。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,LPAR系列转台的在位稳定性和最小步进量小于0.05角秒。


LPAR系列转台具备灵活的配置选项,客户可以选择模拟量反馈或者数字量反馈,针对半导体客户的应用要求,LPAR系列转台可以提供了旋转单元和气管选项,有效地解决了360°连续旋转绕线问题,也可加配限位限制行程。由于LPAR系列转台具备大中空、侧向高度低、定位精度和重复性好、负载能力强的特点,它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。

LPAR 转台在位稳定性和最小步进测试:

在位稳定性测试优于±0.000014°(±0.05角秒)(实验室环境,线性放大器)

0.0000135°(0.05角秒)最小步进测试(实验室环境,配置线性放大器)

0.000027°(0.1角秒)最小步进测试(实验室环境,配置线性放大器)


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