Surface-Theta系列是高精度的360度连续转台，采用旋转电机直驱控制，具备非常优秀的动态性能和定位精度。Surface-Theta系列转台采用杰出的工业化设计，外观精致布局合理，具有侧向高度低的优点，适用于空间紧凑型应用。选用高精度圆光栅位置反馈，定位精度±2角秒，重复性小于±1角秒，最大水平负载可达30kg，最大侧向安装负载可达10kg，机械性能非常突出。

Surface-Theta系列采用大直径圆形轴承设计，系统刚性强，重复性好，重负载使用条件小也不会损失性能。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，Surface-Theta系列转台的在位稳定性和最小步进量小于0.05角秒。

Surface-Theta系列转台具备灵活的配置选项，客户可以选择模拟量反馈或者数字量反馈，针对半导体客户的应用要求，Surface-Theta系列为客户提供了旋转单元和气管选项，有效地解决了360°连续旋转绕线问题。由于Surface-Theta系列转台具备侧向高度低、定位精度和重复性好、带负载能力强的特点，它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。

Surface–Theta 转台在位稳定性和最小步进测试

在位稳定性测试优于±0.000014°（±0.05角秒）（实验室环境，线性放大器）

0.0000135°（0.05角秒）最小步进测试（实验室环境，配置线性放大器）

0.000027°（0.1角秒）最小步进测试（实验室环境，配置线性放大器）