FAP系列

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FAP系列平台由高精度ART95系列直线纳米运动平台与ART130-20G系列直驱摆台集合而成六自由度串行结构,具备非常优秀的动态性能和定位精度,空载截止频率最大可达100Hz以上。FAP系列多轴平台采用杰出的工业化设计,外观精致小巧,可以实现3~6个自由度的纳米级定位,针对复杂的多轴耦合或者封装,可实现全方位的高精密位移和角度调整,为客户应用提供完整的耦合对准解决方案,是光子器件大批量制造和组装的基础。


随着新型硅光子学器件的对准公差越来越小,对高效率和高精度对准的需求越来越强,FAP系列直驱平台可以兼顾高效率和高精度。FAP系列平台能够实现低至5 nm的最小步进,速度高达400 mm/s,配以功率计能量模拟量输入控制与寻光算法、合适的轴数、行程配置以及工装夹具设计,可很好地满足了下一代光子学封装耦合对准的需求。


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