MicroL-Z亚微米级定位精度的XYZ一体式精密定位平台，采用三轴一体式结构，可以根据客户要求分离成大中空的XY轴和单独的Z轴。MicroL-Z利用直线电机直驱控制，XY轴采用直线电机驱动，无丝杠传动环节，因此有较好的动态性能，可以完成快速扫描和整定。Z轴具有良好的动态聚焦能力，可以在150ms内完成1μm步进，整定到±150nm。

MicroL-Z系列三轴平台采用大中空设计，最大中空尺寸达到150mm*100mm，适用于生物组织结构观测和膜厚测量等应用，XY轴完成“弓”字型折返扫描的同时，Z轴还可以根据应用需求完成调焦运动，保证精准的捕捉扫描图像。在某些相机景深较短的应用中，都能快速协同步进稳定和快速聚焦，可以大大提高效率和成像质量。