ZR100是Z/Theta 两轴一体式精密定位平台，Z轴利用双直线电机驱动，采用双气缸配重，可以根据负载重量灵活调整气压。Z轴选用精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的性能和定位精度，空载截止频率最大可达100Hz以上，具备很好的速度稳定性。Theta轴采用旋转直驱电机，配备圆形导轨和光栅，兼具高转速和高精度。此外，Theta轴采用下沉隐藏式设计，使得ZR100整体高度较低，工作点的下降有利于保证实际应用中的精度指标。

ZR100是一款兼具点到点的静态定位精度，同时具备非常突出的动态精度，可以适应对动态跟随误差要求严格的生物检测或者晶圆检测扫描应用。Theta轴采用32mm中空设计，可以用于白光共焦传感器通过中空进行双面检测应用，Z轴可以根据传感器聚焦高度实时高速调整，全方位解决客户的运动控制难题。

ZR100平台最小步进测试

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

0.000027°（0.1角秒）最小步进测试（实验室环境，配置线性放大器）