ZTT-V2是垂直升降与水平调平三轴一体式精密定位平台，利用直线电机驱动，采用精密球形铰链耦合，具备非常优秀的微动精度和动态性能。整体高度小，尺寸精巧，刚性高，负载能力可达10kg，兼容洁净室环境使用。

ZTT-V2在具备点到点静态定位精度的同时，还具备非常突出的动态精度，可以适应对微动和动态跟随误差要求严格的晶圆检测、光学对准、面板检测或者无掩膜光刻等应用，根据传感器聚焦高度实时调整高度和角度姿态，全方位解决客户的运动控制难题。

ZTT-V2平台最小步进测试

Z向20nm步进

各轴在位稳定性