LAB165S是纳米级定位精度的气浮平台，采用直线电机驱动，利用空气弹性势能作为支撑导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达120Hz以上。LAB165S平台采用磁预载技术，利用空气导轨支撑滑块运动，同时利用磁场产生反向压力保证空气导轨的正常气隙。专业的设计铸就了LAB165S平台杰出的几何性能，在200mm行程内，其平面度和直线度小于±0.6μm，Pitch/Yaw/Roll摆角指标小于±2.5 arc sec，适用于半导体等对洁净程度要求较高或者对直线度和平面度要求比较高的应用。

LAB165S有较强的驱动能力，最大空载速度1000mm/s，空载加速度可达0.5g，主要应用于光学透镜检测，半导体领域的晶圆缺陷检测，精密制造和封装，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

LAB165S系列平台最小步进测试

10nm最小步进（实验室环境，配置线性放大器）

20nm最小步进（实验室环境，配置线性放大器）

LAB165S系列平台动态性能测试

2.2mm@40ms@±350nm（实验室环境，配置线性放大器）