LAB210是纳米级定位精度的气浮平台，采用直线电机驱动，利用空气弹性势能作为支撑导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达120Hz以上。气浮平台是正负压设计，空气负压保证空气导轨的正常气隙。对于一些大体积负载在气浮导轨上不均匀分布的应用，这种设计的优势就体现出来了，非常适合重负载的应用。

专业的设计和制造技术铸就了LAB210平台杰出的几何性能，超薄的气隙有利于减少步进稳定时间， LAB210平台的最小步进优于10nm；1mm和25mm步进快速整定测试可以分别在40ms和170ms内整定到±100nm。同时LAB210平台的平面度、直线度以及Pitch/Yaw/Roll摆角指标控制也相当出色。

LAB210平台有较强的驱动能力，最大空载速度2000mm/s，空载加速度可达2g，主要应用于大型光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

LAB210系列平台最小步进测试

10nm最小步进（实验室环境，配置线性放大器）

20nm最小步进（实验室环境，配置线性放大器）

LAB210系列平台动态性能测试

2.2mm@40ms@±350nm（实验室环境，配置线性放大器）