Surface系列是地心科技高精度和高动态性能平面气浮平台，它是XY双气浮轴承正负压设计，采用空气环绕型预载，利用空气负压来平衡气浮导轨往上浮和下压预载力，保证气浮面的正常气隙，几何性能非常出色，俯仰和偏摆角度均小于2角秒。

双气浮轴承设计提升Surface系列气浮平台的负载能力和刚度，一阶自然响应频率可达330Hz以上，空载截止频率可达100Hz以上，使其具备高速高效运动，同时又能减少步进稳定时间。

Surface 系列双驱轴与横梁轴均采用空气导轨的H桥式结构，零摩擦设计保证了出色的动态性能和效率，最大速度可达2m/s，最大加速度2g。Surface 系列平台行程可以根据客户要求定制，还可与Surface Z 、Surface Theta组合为X-Y-Z-Theta的多轴系统， 适用于不同尺寸的和工艺的晶圆检测应用。

Surface系列平台最小步进和在位稳定性测试

10nm最小步进（ASH反馈，配置线性放大器）