ASML是高精度气浮直驱转台,采用旋转电机直接驱动,具备非常优秀的动态性能和定位精度。除了市场领先的轴向、径向和倾斜误差运动性能外,ASML气浮转台还提供卓越的旋转绝对定位精度、重复性和负载能力,很容易集成到多轴运动系统中。
ASML转台采用杰出的工业化设计,转动台面尺寸从150mm到300mm不等,厚度轻薄的设计下仍能保证高性能,选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度小于1角秒,轴向和径向跳动小于250nm。ASML转台采用地心科技自主研发的圆形直驱电机,尺寸灵活设计。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,ASML转台的在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒。主要应用在测量检测、生物样片加工及观测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目。