MINI-X1-Y1-Z1系列六轴高精密运动台专业针对光纤耦合环节设计,创新性地在ART130系列大行程运动台(XYZ轴行程可按客户需求定制)的基础上,集成了三轴微型精密调整机构,实现“大范围粗调+纳米级精调”一体化操作,各轴重复定位精度均可达到±100nm以内。产品适应绝大多数光通讯模块的应用,具有精度高、稳定性高、性价比高的产业化集成优势。
与以往压电微型台调整方案不同,我们还是使用自研直线电机和交叉滚柱导轨,MINI轴的微动行程可以做到±1mm,运动整定时间可达200μm@±50nm @30ms。超高的精度与小巧的体积,更为轻便的重量与更广泛的行程,使其更适合需要频繁、快速、大范围来回运动的耦合场景。
MINI XYZ在位稳定性

MINI X轴整定速度

MINI Y轴整定速度

MNI Z轴整定速度
